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      1. 蝕刻劑

        在先進的半導體工廠使用的高純度蝕刻劑

        大金公司能夠提供濕·干兩種高純度蝕刻劑。蝕刻氣體純度高達99.999%,能夠對應高純度、高潔凈度的要求。

        特點與特性

        • 在BHF氟酸中添加界面活性劑形成BHF-U,將其列為一類。
        • 不會影響氧化膜的蝕刻效果,且可以提高潤濕性、防止粒子附著、防止金屬污染、抑制Si表面的蝕刻。

        產品信息

        品級
        種類 品級 特點
        濕蝕刻劑 氟化氫酸(HF)※1
        (50%、49%)
        高品質(含有金屬、不純物 低)
        氟化氨(NH4F)
        (40%)
        高品質(含有金屬、不純物 低)
        BHF氟酸 高品質(含有金屬、不純物 低)
        含界面活性劑
        的BHF氟酸(BHF-U)
        滲透性提高,粒子附著降低
        (研究開發品)
        Zielex·BHF酸
        (ZielexBHF)
        蝕刻品級變化抑制(和過去品相比)
        其他的性能與添加了界面活性劑BHF氟酸相同
        干蝕刻劑 PFC-14(CF4) 高純度(99.99%以上)※2
        PFC-116(C2F6)
        PFC-C318(C4F8)
        HFC-23(CHF3)
        HFC-32(CH2F2)

        ※1由于氟化氫酸(HF)是【外國匯款以及外國貿易法】的出口令附件表第一中規定的貨物,出口的時候,需要向日本政府的出口許可申請等必要的手續。
        ※2數值是代表值。

         

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